等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設(shè)計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿游镔|(zhì)，或使物質(zhì)轉(zhuǎn)變成或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。而這種凈化設(shè)備的技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。